單晶硅對石英坩堝的要求
沒有接觸過石英坩堝的人不了解單晶硅的作用,下面我們將介紹單晶硅對石英坩堝的具體要求:
石英坩堝的幾何尺寸和外觀取決于生產工藝,而純度則由原材料決定。石英坩堝原材料要求純度高、一致性好、粒度分布均勻。只有原材料質量好,生產的石英坩堝的質量才能得到保證。
有害成分含量高時,會影響石英坩堝,的融化其耐溫性,出現氣泡、污漬、脫皮等現象,嚴重影響石英坩堝的品質有害元素總含量高,會出現氣泡、白點等缺陷,導致石英坩堝透明度下降
石英坩堝是拉制單晶硅的消耗容器,每生產一爐單晶硅,就消耗一爐。因為單晶硅是生產大規(guī)模集成電路的原材料,所以對石英坩堝的要求比較嚴格。