普通稀無機(jī)酸可用作清洗液。國內(nèi)常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國內(nèi)坩堝生產(chǎn)廠家生產(chǎn)的18和20英寸坩堝技術(shù)都比較成熟。其生產(chǎn)使用原料石英砂由美國進(jìn)口和國內(nèi)高純石英砂兩種。其原料里雜質(zhì)在生產(chǎn)時高溫熔制過程中產(chǎn)生黑點氣泡等 對拉制單晶硅時其穩(wěn)定性都有一定影響。
目前坩堝生產(chǎn)涂層技術(shù)已被大多數(shù)廠家使用就是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層高純度石英砂使其形成致密層,其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應(yīng)提高成晶率。